半导体级X检测设备的工作原理
2025-05-23

际诺斯的半导体级X检测设备基于X射线成像技术开展工作,它的工作的核心原理是利用X射线源发射出高能量的X射线束,这些X射线能够穿透被检测的半导体器件,由于器件内部不同材料和结构对X射线的吸收程度存在差异,因此当X射线穿过器件后探测器接收剩余的X射线并将其转化为电信号,随后,图像处理与分析软件对这些电信号进行处理,重建出器件内部结构的图像,再通过预设算法对图像进行分析,从而检测出器件内部可能存在的缺陷。

X射线检测设备.jpg

优点

高精度检测:它采用微焦点X射线源,能够产生高分辨率的X射线束配合高灵敏度的探测器,可精准捕捉半导体器件中微小的缺陷,例如芯片内部的微小裂纹、焊点中的微小空洞等,确保检测结果的准确性,满足半导体行业对产品质量的严格要求。
非破坏性检测:X射线检测无需对半导体器件进行拆解或破坏,在不损伤器件的前提下就能获取其内部结构信息,避免了因检测而造成的器件损坏,降低了检测成本,同时保证了产品的完整性,有利于后续的生产和使用。
全方位检测能力:设备配备先进的运动控制系统,可以实现被检测物体在X、Y、Z三个方向上的平移和旋转能够对半导体器件进行全方位、多角度的检测,确保器件的各个部位都能被充分检测到,大大提高了检测的全面性和可靠性。
高效自动化:图像处理与分析软件功能强大,具备自动缺陷识别和分类功能,能够快速处理大量的检测数据并生成详细的检测报告,这不仅提高了检测效率,减少了人工干预,还降低了人为因素对检测结果的影响,实现了检测过程的高度自动化。
操作和维护简单:设备涉及多个复杂的系统和技术但具体工作流程几乎全自动处理,产线操作人员经过简单培训即可上岗。
辐射防护要求严格:X射线具有一定的辐射危害,因此设备在使用过程中需要严格的辐射防护措施,际诺斯X射线检测设备都是全包裹式铅防国际标准安全防护
系统,符合所有国家的X射线辐射泄漏量标准< 1uSv/hr。
轻松处理复杂结构检测:际诺斯半导体级别X射线检测设备对于一些结构极其复杂、材料成分多样的半导体产品也有着相当卓越的表现,当器件内部存在多层重叠结构或不同材料的界面时,X射线的吸收和散射情况会更加复杂,但半导体级别的设备穿透力更强加上强大的算法,也能输出较为准确的检测结果。

缺点

设备成本高:采用了先进的技术和高精度的零部件,例如微焦点X射线源、高灵敏度探测器等,际诺斯半导体级X射线检测设备的制造成本较高,主要是针对中高端半导体产业服务的,对质量和效率有追求的半导体企业是一个不错的选择。

际诺斯总结

际诺斯的半导体级X检测设备凭借X射线成像技术实现了对半导体器件的高精度、非破坏性、全方位检测,并具备高效自动化的特点,为半导体行业的产品质量控制提供了有力支持,然而,因为这款设备是针对高端半导体制造业的设备,所以价格并不便宜,企业在引入该设备时,需要综合考虑自身的生产需求、资金实力和技术水平,权衡利弊,可以充分发挥其优势,提高产品质量和生产效率。
         注:本文数据来源于公开信息,仅供参考。


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